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● 大口径(Φ215mm)石英反应腔 ● 小型一体化设计 ● 操作简单的触摸屏方式(PR510型)
型号
PR500
PR510
模式
DP模式,桶型
控制部
高频输出功率
Max500W
频率
13.56MHz
同调方式
自动协调
反应部
反应腔
石英 Φ215×305mm
反应气体
2系统(O2/CF4)
控制
手动
触摸屏自动控制
配管材质
不锈钢、特氟龙
外形尺寸
W438×D520×H760mm
参照规格书
重量
约60kg
电源
单相AC100V 9A
三相AC200V 8A
YAMATO
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