YAMATO 等离子灰化机 PR500/510_上海尔迪仪器科技有限公司
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YAMATO 等离子灰化机 PR500/510

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所属分类
等离子装置
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● 大口径(Φ215mm)石英反应腔
● 小型一体化设计
● 操作简单的触摸屏方式(PR510型)

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型号

PR500

PR510

模式

DP模式,桶型

控制部

高频输出功率

Max500W

频率

13.56MHz

同调方式

自动协调

反应部

反应腔

石英 Φ215×305mm

反应气体

2系统(O2/CF4)

控制

手动

触摸屏自动控制

配管材质

不锈钢、特氟龙

外形尺寸

W438×D520×H760mm

参照规格书

重量

约60kg

参照规格书

电源

单相AC100V 9A

三相AC200V 8A

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