YAMATO 等离子灰化机 PR200/300/301_上海尔迪仪器科技有限公司
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YAMATO 等离子灰化机 PR200/300/301

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YAMATO 等离子灰化机 PR200/300/301

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产品编号
所属分类
等离子装置
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技术应用链接:

用途
● 高分子材料表面的官能基付与→粘合性、密着性提高。通过氧化反应,在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能基(微量的水分及二氧化碳影响)。同样在氮气等离子体中,氮原子被吸收在表面中,生成-NH 2等官能基。
● 硅晶圆蚀刻。
● 材料表面改性(金属、聚合物、薄膜、陶瓷等)。
● 石棉预处理(膜过滤灰化)。
● 从电子设备到生化市场。
● 低温灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
● 使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
● 表面有机物去除。

特点
● RF为200 W的高性能输出类型(PR200)。
● 由于是尺寸紧凑的台式机,很小的位置都可以安装。
● 同步,自动调谐,操作简单(PR200)。
● 等离子体反应器(灰化设备)(PR200)。
● 同步、自动调谐(PR200)。

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型号

PR200

PR300

PR301

模式

DP模式,桶型

控制部

高频输出

Max300W

 

频率

13.56MHz

 

同调方式

手动2轴同调方式

反应部

反应腔

耐热玻璃 Φ100×160mm

超硬质玻璃 Φ64×160mm×3室

耐热玻璃 Φ118×160mm

 

反应气体

1系统(氧气)流量计

 

控制

手动密闭阀

自动减压、自动密闭阀

 

配管材质

不锈钢、特氟龙、铜、铜合金

不锈钢、特氟龙

外形尺寸

W350×D400×H500mm

W438×D520×H556mm

W438×D520×H630mm

重量

约10kg

约36kg

约34kg

电源

AC100V 15A

AC100V 7A

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