TAMATO 内部观察装置 FS_上海尔迪仪器科技有限公司
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TAMATO 内部观察装置 FS

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可以满足从研发到批量检查需要,高速、高精度的测量和分析更加容易。

 

特点

● 高精度•高分辨率 高性能超声波组件和高精度扫描仪组合,微小的缺陷也不会漏检。 配置有最高频率达500MHz的宽带、高灵敏度超声波组件,并通过组合高 精度扫描仪,可以检测的最小间距达0.5μm。

● 高速批量检查 可以在短时间内方便地测量高可靠性的数据。

配备最大扫描速度1,000mm/s的扫描仪,以及连续自动测量、高速测量功 能等,可以在更短的时间内进行测量。单击鼠标即可从图像索引开始进行测 量,并迅速进行评价、判定。

● 深•多样

各种分析软件不断进化。 波形、强度、深度等超声波数据的分析软件不断进化,同时,高频、透射法 探头等测量工具也更加丰富。

● 操作性•安全性 重视使用便利性和安全性,可以装卸两侧的大型窗、LED照明、探头识别 功能(根据不同的机型作为标准配置)、电源开关的保护盖、前面透明面 板,并设置有传感器等。、

 

CSP(Chip Size Packing) 凸块接合、底部填充空隙
(低于芯片厚度的凸块)
 
树脂 观察填充物、流动情况等
(直径10μm的玻璃纤维)
 
电源模块、汽车零件 车载半导体、金属产品等
(IGBT的粘合界面的缝隙)
 
电子元件、陶瓷元件 电容器、传感器等的层间剥离、裂纹
(贴片电容器不同深度的层间剥离)
 
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 研发产品等
(硅晶片粘合界面)
金属产品 钎焊部位的剥离、空隙
(靶材界面)
 

 

 

规格

 

 

满足高精度需求的高分辨率SAT 通过组合最高频率达500MHz的高灵敏度组件、高精度扫描仪与日立开发的高分辨率探头,可以检测细微的缝隙。
从大范围到极小范围,涵盖各种各样的试件 实现高精度测量,能够扫描最小间距0.5μm,在一次测量中,可以以微小间距测量硅晶片、JEDEC托盘等。而且,从厚到 薄,涵盖了广泛的测量对象,从而丰富了探头系列,从低频到高频均有,透射法测量的精度更高。
更快更方便地获得可靠性更高的数据 通过采用高速、高精度扫描仪以及新型图像处理单元,可以在短时间内获得再现性高的数据。而且,在依据登录条件进行测 量的图像索引,以及连续自动测量多个试件的网格扫描中,设置了补偿功能,可以补偿中心位置以及试件高度,从而提高了 数据的可靠性。主机开口部较宽敞,利用升降机(选购)可以快捷、方便地更换试件。
 
利用先进的软件实现详细的评价分析
 
进一步进化了波形分析、计测、剥离判定、深度信息等的分析软件。 可以实时进行±相位、绝对强度、深度数据的数据比较,在重叠显示波形时,即使时间轴不同也可自动调整时间轴、并进行保存。 另外,利用独创的像素间插值处理以及自动对比度处理等,可以方便地获得更易观察的数据。而且,作为标准配置,在采用全点波 形的实时3D(扫描)功能和多门功能中,最多可以设定64个门,可以批量保持各门内的数据(探伤条件+图像:tiff、图像格式: bmp、Jpeg、gif、png)并能将图像数据保存在一个文件内(tiff)。

 

 

各种护展性

● 丰富的探头系列 从低频到高频,根据不同的测量条件,备有多达70多 种的探头。

● 适应多种多样的试件 利用水槽的升降功能,无需弄湿手即可更换试件。 可以利用反射法、透射法同时进行测量。 通过使用透射法探头,可以利用反射法、透射法同 时进行测量,并实现图像化。

● 周边设备

还配有提高高频灵敏度的温控单元,以及双监视器等。

 

 

宽敞的开口部,注重安全性 为了便于取放试件,开口部一直扩展至上方。在开口部的整个 区域内设置有区域传感器,作为标准配置,还配置有急停按 钮、漏水传感器、门传感器、钥匙开关等安全机构。另外,在 FS200、FS300还配有探头自动识别功能。
在细节上满足用户的工作需求 作为日立的原装配置,除了便于固定试件的磁性板,还有 在日常检查中不可或缺的标准试验片等。另外,还配有维 护工具箱、给水水箱等,软件方面还设计有帮助功能等, 在细节上满足用户的工作需求。
追求使用便利性和安全性
利用可以装卸两侧的大型窗、LED照明、探头
识别功能(根据不同的机型作为标准配置)、电 源开关的保护盖、前面透明面板、并设置有传感 器等,让您使用更方便。而且,通过探头的自动 识别功能,可以防止误设定而损坏探头。
 

 

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