SAWATEC iSPRAY-300_上海尔迪仪器科技有限公司
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SAWATEC iSPRAY-300

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SAWATEC iSPRAY-300

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BRUKER
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技术应用链接:

针对具备高度结构化晶圆形貌、深度 MEMS 结构或不平整表面特征的基板, SAWATEC 公司的 iSPRAY-300 能够确保尽可能均匀的喷涂效果。它是一款精密的喷胶机,适用于手动喷涂或喷雾显影工艺,主要被应用于研究与开发实验室,尤其是 MEMS 加工的试产和小量产场合。
经过工艺优化的喷嘴能够结合低粘度的、特别适用于喷涂作业的光刻胶(例如 Shipley1813 、 AZ 4999 、 AZ 9260 、 SU8 等)生成最精细的小液滴。在一个封闭式工艺室中喷嘴经由"弓"字型行进路径进行喷涂,由此可以确保整个基板表面上均匀的喷涂效果以及高度可再现性。该设备可用于圆形或正方形基板,最多可同时喷涂 4 个晶基板。
iSPRAY-300 喷胶机适用于最大直径为 300 mm 的晶圆或尺寸为 12x12 英寸的基板。

功能(基本配置)
可编程,最多 50 个程序(各包含 24 个程序段)
适用于重复工艺的快速启动功能
触摸屏面板控制,方便用户程序配置
工艺参数:喷嘴行进路径,喷洒臂速度,喷洒时间,锥形束形状
电气驱动的喷洒臂,其在 X 或 Y 轴方向上的速度可选
可调整的喷嘴,具有恒定的喷洒压力和自动的清洁功能
用于计量压缩空气和检查真空度的指示元件
手动装卸基板
工艺结束时的声音信号

性能数据
喷洒量:( 50 cl) 容量的缓冲装置,结合具有液位检查功能的给胶泵
喷洒介质的粘度: 0.3 至 25 cSt (µPas)
喷嘴:液滴尺寸小于 7 微米,典型: 3 微米
喷洒臂的速度和定位精度:最大 0.4 m/s ;± 0.1mm
每个分段的喷洒时间:最长为 9999 秒,调节步幅为 0.1 秒
喷洒循环的数目:最多 20 个曲回循环
环境温度: +4 至 +60°C

附加功能(可选项)
加热板最高温度为 150°C ,可用加热面为 Ø300mm
旋转卡盘最大转速为 6,000rpm +/-1rpm
可加热的旋转卡盘,最大转速为 1,500 rpm ,最高温度为 150°C
喷嘴用 Z 升降轴
双喷嘴带有分离式光刻胶输送管道,避免污染

附加装备
X 与 Y 方向上标准的喷洒方式还可与一个转动的旋转卡盘(带有或没有加热装置)相结合,进而改善特定形貌上喷涂的分布情况以及提高喷涂全面性。
此外,还可以在 iSPRAY-300 上装配一个加热板。这样一来,即使是高粘度的光刻胶也能对少量覆盖的孔洞进行有效成形,以及确保边缘涂布。

接口
230 VAC 50/60Hz 10A
技术真空,软管 Ø6/4mm (-0.8bar)
压缩空气或氮气软管 Ø6/4mm (3bar)
废气接口 Ø125mm (260m3/h)

未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加

设计和尺寸
电解抛光不锈钢制成的可移动机身
不锈钢制工艺腔体
可观察工艺过程的玻璃前门
用于喷嘴定位的精密 AC 伺服电机
尺寸: 850 x 750 x 2333mm (长 x 宽 x 高)
重量:约 220kg

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