SAWATEC 匀胶机SM-150_上海尔迪仪器科技有限公司
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SAWATEC 匀胶机SM-150

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SM150
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SAWATEC 匀胶机SM-150

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产品编号
所属分类
BRUKER
数量
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技术应用链接:

匀胶机 SM-150 是手动或半自动薄膜涂覆的最佳选择,适用于表面没有或有非常矮形貌的基板涂胶作业。所有市面上的光刻胶与涂层材料都可被均匀涂覆到尺寸最大为 150mm (6") 的晶圆或尺寸为 127x127mm (5"x5") 的基板上。工艺腔设计可满足最大直径为 176mm 。
SM 系列的优点在于,具有令人信服的高度涂膜均匀性和工艺重复性,并且操作简单、使用舒适。为了使花费在工艺腔清洁上的精力最小化, SAWATEC 公司开发了一种极其实用且经济的工艺腔保护碗。工艺结束后,可以简单地移除和清理这种保护碗。经由如此的高品质设计,也可以将维护成本最小化。因此, SAWATEC 匀胶机可被优先应用于实验室,研发,试产项目以及研究所。
该匀胶机可提供便携桌上式和内嵌式两种方式。

功能(基本配置)
可编程,最多 50 个程序 ( 各包含 24 个程序段 )
适用于重复工艺的快速启动功能
触摸屏面板控制,方便用户程序配置
工艺参数:转速、加速度、工艺时间
旋转方向可选 ( 顺时针、逆时针 )
手动装卸基板
通过具有安全保护的真空系统进行基板固定
手动盖子带有空气入口和闭合安全保护
工艺结束时的声音信号

性能数据
转速范围: 0 到 10,000rpm +/-1rpm
转速加速度: 0–8,000rpm 为 0.8 秒 /0–10,000rpm 为1秒
减速度: 10,000rpm-0 为 2.5 秒 /8,000rpm-0 为 0.8 秒
工艺时间最长为 2376 s
每个程序段的给胶时间为 99 s

附加功能(可选项)
半自动的管式给胶系统,带有手动给胶手臂和回吸功能的 50ml 玻璃注射管
工艺腔的手动氮气净化装置
用于简化操作的 " 启动/停止 " 脚踏开关 ( 电缆长度 1.8m)
经阳极电镀处理的铝制工艺腔
铝制或 PE( 聚乙烯 ) 材料制成的工艺腔保护碗
用于 SM-150 匀胶机的真空泵
晶圆定位器 2"–6" (圆形)

旋转卡盘分类
为了达成完美涂覆效果,我们提供了不同尺寸、材料和设计的旋转卡盘。根据用途的不同,可使用单块结构或具有光学辅助置中功能的两部分构成的旋转卡盘。为避免基板背面被弄脏,有时不仅要选择最佳的旋转卡盘尺寸,还要采用专门的卡盘设计。旋转卡盘的更换过程非常简单,不需要使用工具。

真空卡盘小片
真空卡盘 1" 至 3"( 圆形 )
真空卡盘 100mm(4") 至 150mm(6")
真空卡盘 100x100mm(4"x4")
真空卡盘 125x125mm(5"x5")
其他卡盘需咨询

接口
230 VAC 50/60Hz 10A
脚踏开关用插头接口
技术真空,软管 Ø6/4mm(-0.8bar)
压缩空气或氮气软管 Ø6/4mm(3bar)
( 仅限于和给胶系统配合使用 )
排放接口 Ø12mm
BT 废气接口 Ø38mm(20–50m3/h)
BM 废气接口 Ø25mm(20–50m3/h)

未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加

设计和尺寸

桌上式版本 SM -150-BT

内嵌式版本 SM-150-BM

紧凑且节省空间的结构形式
POM( 聚甲醛树脂 ) 材料制成的工艺碗,确保了高材料兼容性
POM( 聚甲醛树脂 ) 材料制成的集成式防溅环,确保无光刻胶溅出。
透明盖板:玻璃制成
具有 3.5" 彩色显示屏的触摸屏面板
高精度,高动态的交流伺服电机

经电解抛光处理的不锈钢外壳
外壳 (BT): 350 x 510 x 403mm ( 长 x 宽 x 高 )
重量 (BT): 约 29kg

安装模块 (BM): 300 x 300 x 368mm ( 长 x 宽 x 高 )
安装面板 (BM): 320 x 166 x 50mm ( 长 x 宽 x 高 )
重量 (BM): 约 20kg

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