KASHIYAMA大排量真空泵SDE系列_上海尔迪仪器科技有限公司
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KASHIYAMA大排量真空泵SDE系列

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SDE-TX 1
SDE-TX 1
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KASHIYAMA大排量真空泵SDE系列

苛刻工艺的标准型
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1000
产品编号
KSY 06
数量
-
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库存:
0
技术应用链接:

苛刻工艺的标准型

1.可达到200kL/min.

2.最适合大尺寸晶圆和FPD使用。

3.经得起各种工艺的考验

未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加

规格书 /产品介绍

SDE1220

SDE20M20

SDE30M20

SDE4060

SDE4030M20

SDE8060

SDE804060

最大抽速[L/min]

20,000

30,000

50,000

60,000

80,000

120,000

190,000

极限压力[Pa]

0.5

0.8

0.5

0.8

0.5

电源电压(50/60Hz)

3 Phase AC200~220V,380~480V

尺寸[mm] 宽*高*长

400 * 780 * 930

450 * 950 * 1000

450 * 950 * 1000

750 * 1200 * 1600

800 * 1580 * 1320

850 * 1220 * 1600

1000 * 1980 * 1850

*1) 也可提供小于20000L/min的小型泵  

*2) 包装尺寸因规格而异

*3) 关于国际标准的遵守情况,请联系我们产品规格和名称如有变更,恕不另行通知

S-P曲线

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