Diener 等离子表面处理仪 Tetra100_上海尔迪仪器科技有限公司
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Diener 等离子表面处理仪 Tetra100

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Diener 等离子表面处理仪 Tetra100

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产品编号
所属分类
真空型
数量
-
+
库存:
0
技术应用链接:

特点:

·便捷的触摸屏操作界面

·数字及图标多重工艺参数实时显示方式

·异常报警功能

·自动/手动操作模式可切换

·储存多套工艺程序

·远程操控,数据导出

·模块多样化选择,多层托盘可选,处理量大

 

技术规格:

型号

Tetra 100

控制系统

控制方式

全自动控制(自动/手动切换)

BASIC PC

FULL PC

操作系统

Windows CE

Windows 10

触摸屏

3.5/7”

7/15”

工艺气体

O2 Ar N2 Air SF6 CF4

工艺气路

1-3路(可选)

1-10路(可选)

流量计

MFC /防腐型MFC

真空腔体

不锈钢W400xD625xH400/100L

铝合金W400xD625xH400/100L

电极

材质

铝/不锈钢电极

层数(可选)

1-10(可选)

1-2

1-5

发生器

 

40kHz 0-1500W

80kHz 0-1000W 0-3000W

13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W

2.45GHz 0-1200W

真空压力计(mba)

皮拉尼传感器(0-9.99)

托盘

不锈钢/铝

实板/镂空

层数

1-10(可选)

外形尺寸WDH(mm)

600x850x1700(2100)

电源

AC400 V / 16 A

真空泵抽气速度

根据工艺选择

选配件

单体导入模块、远程控制系统、防腐系统、气浴、托盘/腔体冷却系统、加热模块、RIE电极(刻蚀)、石英舟、干泵

 

 

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