Diener 等离子表面处仪 Tetra810_上海尔迪仪器科技有限公司
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Diener 等离子表面处仪 Tetra810

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Diener 等离子表面处仪 Tetra810

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Tetra 810 LF-PC | 特殊设备 

开关柜:宽 1200 mm、高 2200 mm、深 2000 mm

腔室:宽 900 mm、高 1100 mm、深 900 mm

腔室容积:约 810 升

气体供给:通过 MFC 控制的 2 个气体通道

发生器:1 个 (80 kHz)

控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

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