Diener 等离子表面处仪 Tetra8000_上海尔迪仪器科技有限公司
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Diener 等离子表面处仪 Tetra8000

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Diener 等离子表面处仪 Tetra8000

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Tetra 8000 LF-PC | 特殊设备

腔室:宽 1700 mm、深 2800 mm、高 1700 mm

腔室容积:约 8000 升

气体供给:通过 MFC 控制的 2 个气体通道

发生器:4 个(各为 40 kHz)(可选:13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

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