Diener 等离子表面处仪 Tetra575_上海尔迪仪器科技有限公司
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Diener 等离子表面处仪 Tetra575

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Diener 等离子表面处仪 Tetra575

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Tetra 575 LF-PC | 特殊设备 

开关柜: 宽 1150 mm、高 1900 mm、深 1600 mm

腔室: 宽 600 mm、高 1200 mm、深 800 mm

腔室容积: 约575 升

气体供给: 2 个通过 MFC 控制的气体通道

发生器:  1 个 (40 kHz)(可选:13.56 MHz 或 2.45 GHz)

部件支架: 22 层/(个)产品支架(可变)

控制系统: PC 控制系统 (Windows) 

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