Diener 等离子表面处仪 Tetra3600_上海尔迪仪器科技有限公司
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Diener 等离子表面处仪 Tetra3600

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Diener 等离子表面处仪 Tetra3600

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Tetra 3600 LF-PC | 特殊设备

开关柜/腔室:长 450 mm、高 210 mm、宽 170 mm

腔室容积:约 3600 升

气体供给:通过 MFC 控制的 2 个气体通道

发生器:3 个 (80 kHz) (5KW) 氧气发生器

控制系统:Full PC 控制系统 (Windows)- 旋转臂 

抽屉系统:可伸缩产品支架

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