Diener 等离子表面处仪 Tetra30_上海尔迪仪器科技有限公司
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Diener 等离子表面处仪 Tetra30

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Diener 等离子表面处仪 Tetra30

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Tetra 30 LF-PC | 内联设备                                                                                       

·开关柜: W 800 mm, H 600 mm, D 500 mm

·腔室: W 240 mm, H 150 mm, D 240 mm

·容积. 30 litres(可定制)

·气体供给:通过 MFC 控制的多路气体通道

·发生器: 1 pc. 40 kHz (optional: 13.56 MHz or 2.45 GHz)

·控制系统: 配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

·自动化:系统可以集成到生产线中

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