Diener 等离子表面处仪 Tetra216_上海尔迪仪器科技有限公司
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Diener 等离子表面处仪 Tetra216

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Diener 等离子表面处仪 Tetra216

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Tetra 216 LF-PC | 特殊设备

开关柜:宽 600 mm、高 1700 mm、深 800 mm

腔室:宽 600 mm、高 600 mm、深 620 mm

腔室容积:约 216 升

气体供给:通过 MFC 控制的 5 个气体通道

发生器:1 个(各为 80 kHz) 

控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows) 

 

 

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