Diener 卷对卷等离子表面处仪 Tetra3600_上海尔迪仪器科技有限公司
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Diener 卷对卷等离子表面处仪 Tetra3600

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Diener 卷对卷等离子表面处仪 Tetra3600

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Tetra 3600 PC | 特殊设

开关柜:宽 3000 mm、高 1800 mm、深 1500 mm

腔室:宽 2500 mm、高 1200 mm、深 1200 mm

处理幅宽:2000mm

卷轴直径:127mm

卷轴最大外径:300mm

腔室容积:约 3600升

气体供给:通过 MFC 控制的 2 个气体通道

发生器:1 个 (80 kHz)或者13.56MHz 0-3000W

控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

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