等离子清洗机 YSP_上海尔迪仪器科技有限公司
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等离子清洗机 YSP

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所属分类
等离子装置
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用途
● 提高各种材料的粘接性、表面改质处理
● 清洗各类基板。
● 电子部品、材料表面改质。
● 去除有机物和自然氧化膜。

特点
● 体积小,节省空间。
● 选用小型腔体,反应效率高。
● 更容易嵌入生产线使用。
● 可通过操作面板自由切换等离子模式。
● 配备冷却反应台。

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型号

YSP600U

YSP2KU

模式

RIE(DP模式选购)

高频输功率

600W

2000W

反应台尺寸

W300×D300mm

W600×D600mm

反应气体

2进气系统(氧气、氩气)

反应气体流量控制

质量流量控制器

气体导入口

反应气体2个、填充气体1个、空气1个

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